ОБ’ЄКТ ДОСЛІДЖЕННЯ – надтверді покриття та напівпровідникові плівки на основі NbN, NbC, TiN, SiNx SiC, SiCN, AlN, їх структурні, механічні та оптоелектронні властивості, матеріал покриттів. МЕТА РОБОТИ- вивчення механізмів ...