ОБ’ЄКТ ДОСЛІДЖЕННЯ – тонкоплівкові оксидні матеріали ZnO, NiO та CuAlO2 осаджені методами магнетронного та іонно-променевого розпилення. МЕТА РОБОТИ – розробка технології осадження оксидних матеріалів n- та p-типу ...