Анотація:
МЕТА РОБОТИ - вивчення механізмів формування наноструктури і її впливу на механічні і електрофізичні властивості плівкових і об’ємних композитів на основі тугоплавких сполук Ті,Nb,Аl,Ва,Lа,Sn з Si,В,С,N,0.
ОБ’ЄКТ ДОСЛІДЖЕННЯ - плівкові і об’ємні матеріали на основі сполук Ті,Nb,Аl,Ва,Lа,Sn з Si,В,С,N,0, наноструктура, механічні і електрофізичні властивості.
МЕТОДИ ДОСЛІДЖЕННЯ - установка для дуального магнетронного розпилення, плазмохімічна установка, технологічне обладнання для виготовлення товстих плівок шляхом трафаретного друку, технологічна установка для синтезу об’ємних зразків. Для дослідження зразків використано: рентгеноструктурний аналіз, наноіндентування, трибологічні і адгезійні тести, оптичний профілометр, інфрачервона і рентгенелектронна спектроскопії, установки для дослідження електрофізичних властивостей, атомний силовий мікроскоп (АСМ).КЛЮЧОВІ СЛОВА: НАНОСТРУКТУРОВАНІ ПОКРИТТЯ, АМОРФНІ І ГРАНУЛЬОВАНІ ПЛІВКИ, КОНСОЛІДАЦІЯ ПОРОШКІВ, МЕХАНІЧНІ І ЕЛЕКТРО-ФІЗИЧНІ ВЛАСТИВОСТІ, ТУГОПЛАКА КЕРАМІКА, ДИБОРИД ТИТАНУ, КРИСТАЛІЧНА СТРУКТУРА, ФАЗОУТВОРЕННЯ.
Опис:
СКОРОЧЕНИЙ ЗМІСТ ВИСНОВКІВ РЕЦЕНЗЕНТІВ.
Робота являє успішне експериментально - теоретичне дослідження актуальних технологій і матеріалів. Розроблена магнетронна технологія може бути рекомендована після подальшого удосконалення для впровадження у виробництво. Теоретичні моделі, запропоновані в дослідженні, являють собою вагоме підгрунтя для інтерпретації властивостей наноструктурованих і аморфних покриттів. Тематичні завдання були виконані в повному обсязі.
ПРОПОЗИЦІЇ ПРО ПОДАЛЬШЕ ВИКОРИСТАННЯ РЕЗУЛЬТАТІВ РОБОТИ.
Результати можуть бути використані: при розробці новітніх надтвердих тонких покриттів; для пояснення властивостей гетероструктур та інтерфейсів, із котрих формуються нанокомпозити; в технології виготовлення товстих плівок для виготовлення датчиків, резисторів; при синтезі твердих об’ємних композитів на основі тугоплавких сполук.